潔凈室的污染源可分為外污染源和內污染源。外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及供水、溶劑等;而內污染源則包括制造設備、工作人員、工具、加工制造、工作桌、包裝材料等。對污染源的控制,其基本原則有以下四點:
一、防止外部塵埃侵入:
潔凈室內應保持適當的正壓(>5Pa);做好施工工程的不漏氣;人員設備、原材料搬入潔凈室前先做好清潔擦拭等防塵工作,空氣過濾器的管理和設置等。
二、防止室內發塵:
主要控制:無塵室的墻、地板等無塵材料的適當選用、制造設備的發塵控制、潔凈室內的員工管理、潔凈服的管理、使用潔凈室專用器件等。
三、室內發塵不積留:
墻壁體應光滑去死角、潔凈室需定期保養和清掃、設備四周應留有空間。
四、及時去除空間塵粒:
換氣次數應足夠,適當的空間布置以及污染源排氣和空調的氣流速度須適當。
如果你想加強對靜電防護及潔凈室技術知識深悟的學習,可隨時關注優科教育發布的ESD培訓(ESD工程師、ESD內審員培訓)和潔凈室技術工程師培訓信息。
本文所有內容均來網絡,如有侵權,請聯系刪除